用途：

- 监测压力位移曲线

- 小径瑕疵瑕疵区域面积总和 <0.1m㎡

- 轮廓度检测

特点：

- 应用于小径产品检测

- 自动对位、视觉引导

- 平面度精度：±5um

尺寸：1500mm*1500mm*1800mm

行业：半导体